SJT 10626-1995 键合金丝中杂质元素的ICP－AES测定方法
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ID： |
C3E8C835708D4C8EA61EFF0C09184E57 |
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文件大小(MB)： |
0.49 |
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页数： |
5 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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L90,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 10626-1995,键合金丝中杂质元素的,ICP-AES测定方法,Method for determining impurities in gold wire for,semiconductor lead bonding by ICP-AES,1995-04-22 发布1995-10-01 实施,中华人民共和国电子工业部 发布,中华人民共和国电子行业标准,键合金丝中杂质元素的,ICP-AES测定方法,Method for determining impurities in gold wire for,semiconductor lead bonding by ICP-AES,SJ/T 10626 —1995,1主题内容与适用范,1.I主题内容,本标准规定了电感耦合等离子体发射光谱对键合金丝中杂质元素的测定方法,1.2适用范围,本标准适用于键合金丝中银、铜、钙、镁、镒、铁、秘、铅元素的测定。其测定范围:铅、銃为,0.0008% ~0.0500%,其余为 0.0005.0.0500%,2方法原理概要,本方法采用王水溶解试样,挥发除去大部分酸后,加入过氧化氢,在水浴中加热使金沉淀,析出,离心分离后,上层清液引入等离子体,按表1所列各元素分析线波长进行其杂质元素含,量的测定,表1,兀 素,波 长,nm,兀 素,波 长,nm,Ag 328.07 Fe 259.94,Cu 324.75 Mn 257.61,Ca 393.37 Pb 220.35 或 283.31,Mg 279 55 Bi 223.06 或 306.77,3试剂,3.1 无水乙醇:优级纯,3.2 丙酮:分析纯,3.3 过氧化氢:MOS纯,3.4 电子级水:EV-H级,中华人民共和国电子工业部1995-04-22批准1995-10-0I 实施,1,SJ/T 10626-1995,3.5,3.6,3.7,3.8,3.9,3.10,硝酸（1 + 1）:采用MOS纯硝酸配制,盐酸（1 + 1）;采用MOS纯盐酸配制,盐酸（1 + 10））:采用MOS纯盐酸配制,稀王水（硝酸:盐酸:水=1：3：4:采用MOS纯硝酸和盐酸配制,清洗剂:按乙醇:丙酮二1：4的比例配制,标准溶液:,3.10.1 银标准贮存溶液,称LOOOOg纯银粉（99.95%以上）,加入25ml硝酸（见3.5）,加热溶解完全后,继续加热,以除去氮的氧化物。冷却至室温,移入1000ml容量瓶中,以水（见3.4）定容,混匀。此溶液,1ml 含 Img 银,3.10.2 铜标准贮存溶液,称取L 2518g预先在105~ 110C干燥至恒重的氧化铜（99. 99%以上）,低温加热溶于,30ml盐酸（见3.6）中,加入20ml水（见3.4）,加热溶解,冷却至室温,移入1000ml容量瓶中,用水（见3.4）定容,混匀。此溶液1ml含Img铜,3.10.3 钙标准贮存溶液,称取2.4972g预先在105~110C干燥至恒重的碳酸钙（99.99%以上）于300ml烧杯中,加入20ml水（见3.4）,然后滴加盐酸（3.6）。至完全溶解,煮沸除去二氧化碳。再加入10ml,盐酸（3.6）。冷却,移入1000ml容量瓶中,用水（见3.4）定容,混匀。此溶液1ml含Img钙,3.10.4 镁标准贮存溶液,称取1.0000g镁（99. 99%以上），先加20ml水（见3.4）,然后慢慢加入20ml盐酸（见,3.6）。待溶解完全后,移入1000ml容量瓶中,以水（见3.4）定容,混匀。此溶液1ml含Img,毎^ Q,3.10.5 镒标准贮存溶液,称取1.5825g预先在105.110セ干燥至恒重的二氧化镒于烧杯中,加入5ml浓盐酸,滴,加4滴过氧化氢,加热溶解后,再加入5ml盐酸（见3.6）,冷却至室温,移入1000ml容量瓶中,以水（见3.4）定容,混匀。此溶液1ml含Img镒,3.10.6 铁标准贮存溶液,称取1.4298g预先在105.110C干燥至恒重的三氧化二铁（99.99%以上）,低温加热溶,于20ml（见3.6）盐酸中，冷却至室温,移入1000ml容量瓶中,用水（见3.4）定容,混匀。此溶,液1ml含Img铁,3.10.y 铅标准贮存溶液,称取1.5985g预先在105~110匕干燥至恒重的硝酸铅于300ml烧杯中,加30m!盐酸（见,3.6）和 10m!硝酸（见3.5）O待溶解完全后,移入!000ml容量瓶中,以水（见3.4）定容,摇匀,此溶液中1ml含Img铅,3.10.8 钱标准贮存溶液,称取1.1150g预先在105.110匕干燥至恒重的氧化铉（99.99%以上）于烧杯中,加50ml,硝酸（见3.5）,加热溶解。待溶解完全后,冷至室温,移入1000ml容量瓶中（容量瓶中预先加,入50ml硝酸（见3.5）,用水（见3.4）定容,摇匀。此溶液1ml含有Img钱,3.10.9 银系列标准溶液,用银贮存溶液逐级稀释成一套不同浓度的校准溶液,每ml溶液分别含有银:0/xg,2,SJ/T 10626—1995,0.05gg, 0.10pg,0.50pg 及 2.0fzgo,3.10.10 其它元索系列混合标准溶液,用各元素的标准贮存溶液逐级稀释成不同浓度的校准溶液,每1ml溶液分别含有各元素：,OMg,O,lpg, 0.5；zg, L Optg 及 lO.Opg,含 5%盐酸,3.10.1I 标准空白,在配标准时配ー个标准空白,_r lb.,4仪器与工作条件,4.1 仪器:3580型电感耦合等离子体发射光谱仪或其它等效截器,4.2 工作条……
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